概述：质量流量计

凭借高灵敏度多变量层流压差（Laminar DP）技术，这是我们用途最广泛的质量流量计。

非常适合多用途的科研环境，同时为工业应用提供精度和可靠性。

• Alicat 首创的层流压差（Laminar DP）质量流量测量技术
• 标配 98 种（最多 130 种）预校准气体，切换气体不损失精度
• 测量质量流量、体积流量、温度和压力
• 测量范围 0.01–100%（量程比 10,000:1）

采用层流压差技术的质量流量计

Alicat M 系列气体质量流量计

• 适用于大多数气体的精确测量
• 0.5 SCCM – 12,000 SLPM 多种量程可选
• 工作压力 11.5–160 PSIA
• 精度：读数的 ±0.5%
• 重复性：±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）

技术参数

• 质量流量精度：标准为 ±（读数的 0.8% + 满量程的 0.2%）；高精度选项（5 SCCM 型号）为 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
• 流量重复性（2σ）：±（读数的 0.2% + 满量程的 0.02%）
• 压力精度：高于 1 atm 时为读数的 ±0.5%；低于 1 atm 时为 ±0.07 PSIA
• 流量测量范围：满量程的 0.01–100%（量程比 10,000:1）
• 工作压力：11.5–160 PSIA
• 压力敏感性（质量流量零点和量程漂移）：自校准条件起每 atm ±（读数的 0.08% + 满量程的 0.02%）
• 温度敏感性（质量流量零点和量程漂移）：自 25 °C 起每 °C 满量程的 0.02%
• 温度精度：±0.75 °C
• 工作温度范围：-10 至 60 °C（环境和气体）
• 累计体积不确定度：附加读数的 ±0.1% 不确定度
• 传感器响应时间：< 1 ms
• 典型显示响应时间：< 10 ms，取决于流速
• 典型预热时间：< 1 s

如需了解所有流量计型号的详细信息，请联系我们的实验室建设专家顾问。

0.5 SCCM – 5 SCCM

10 SCCM – 20 SLPM

50 SLPM – 12,000 SLPM