概述：质量流量计

凭借高灵敏度多变量层流压差（Laminar DP）技术，这是我们用途最广泛的质量流量计。

非常适合多用途的科研环境，同时为工业应用提供精度和可靠性。

• Alicat 首创的层流压差（Laminar DP）质量流量测量技术
• 标配 98 种（最多 130 种）预校准气体，切换气体不损失精度
• 测量质量流量、体积流量、温度和压力
• 测量范围 0.01–100%（量程比 10,000:1）

采用层流压差技术的质量流量计

Alicat MS 系列气体质量流量计

• 130 种气体，包括腐蚀性气体
• 0.5 SCCM – 12,000 SLPM
• 11.5–160 PSIA
• 精度：读数的 ±0.4% 和满量程的 ±0.2%

技术参数

• 质量流量精度：标准为读数的 ±0.8% 和满量程的 ±0.2%；高精度（≥ 5 SCCM 且 ≤ 500 SLPM）为读数的 ±0.4% 和满量程的 ±0.2%
• 流量重复性（2σ）：满量程的 ±0.2%
• 压力精度：满量程的 ±0.5%
• 流量测量范围：满量程的 1–100%（量程比 100:1）
• 工作压力范围：11.5–160 PSIA
• 压力敏感性（质量流量零点和量程漂移）：自校准条件起每 atm ±（读数的 0.08% + 满量程的 0.02%）
• 温度敏感性（质量流量零点和量程漂移）：自 25 °C 起每 °C 满量程的 ±0.02%
• 温度精度：±0.75 °C
• 工作温度范围：-10 至 60 °C（环境和气体）
• 累计体积不确定度：附加读数的 ±0.1% 不确定度
• 传感器响应时间：< 1 ms
• 典型显示响应时间：取决于流速，用户可调；最快可达（T63）：0.5–5 SCCM：100–4000 ms；10 SCCM – 20 SLPM：< 10 ms；50–12,000 SLPM：65–255 ms

如需了解所有流量计型号的详细信息，请联系我们的实验室建设专家顾问。

0.5 SCCM – 12,000 SLPM