مقاييس تدفق الكتلة Alicat – شركة Tezgen الموزع المعتمد لـ Alicat في تركيا

نظرة عامة

مقاييس تدفق الكتلة

أكثر مقاييس تدفق الكتلة لدينا تعددًا في الاستخدامات بفضل تقنية Laminar DP متعددة المتغيرات وعالية الحساسية. مثالية للمرونة في بيئات البحث العلمي، وتوفر الدقة والموثوقية في التطبيقات الصناعية.

تقنية قياس تدفق الكتلة Laminar DP (فرق الضغط) التي كانت Alicat رائدة في تطويرها
98 خيارًا قياسيًا (حتى 130) من الغازات المعايرة مسبقًا – التبديل بين الغازات دون فقدان الدقة
يقيس تدفق الكتلة والتدفق الحجمي ودرجة الحرارة والضغط
نطاق القياس 0.01–100% (نسبة خفض 10,000:1)

مقاييس تدفق الكتلة بتقنية فرق الضغط الصفائحي

مقياس تدفق كتلة الغاز Alicat MS Series للغازات الأكّالة

130 غازًا، بما في ذلك الغازات الأكّالة
من 0.5 SCCM إلى 12,000 SLPM
11.5–160 PSIA
دقة ± 0.4% من القراءة و ± 0.2% من كامل التدرج

المواصفات الفنية

المعيار
دقة تدفق الكتلة	الدقة القياسية: ± 0.8% من القراءة و ± 0.2% من كامل التدرج الدقة العالية (≥ 5 SCCM و ≤ 500 SLPM): ± 0.4% من القراءة و ± 0.2% من كامل التدرج
تكرارية التدفق (2σ)	± 0.2% من كامل التدرج
دقة الضغط	± 0.5% من كامل التدرج
نطاق قياس التدفق	1–100% من كامل التدرج (نسبة خفض 100:1)
ضغط التشغيل	11.5–160 PSIA
الحساسية للضغط	انزياح الصفر والمدى لتدفق الكتلة: ± (0.08% من القراءة + 0.02% من كامل التدرج) لكل atm انطلاقًا من ظروف المعايرة
الحساسية لدرجة الحرارة	انزياح الصفر والمدى لتدفق الكتلة: ± 0.02% من كامل التدرج لكل °C انطلاقًا من 25 °C
دقة درجة الحرارة	± 0.75 °C
نطاق درجة حرارة التشغيل	-10…60 °C (المحيط والغاز)
إجمالي عدم اليقين الحجمي	± 0.1% من القراءة (عدم يقين إضافي)
زمن استجابة الحساس	< 1 ms
زمن استجابة المؤشر النموذجي	يعتمد على معدل التدفق وقابل للضبط من قبل المستخدم؛ بسرعة تصل إلى (T63): 0.5–5 SCCM: 100–4000 ms 10 SCCM – 20 SLPM: < 10 ms 50–12,000 SLPM: 65–255 ms